仪器型号：QUANTA200、VANTAGE DSI

生产厂家：美国FEI公司 、美国热电公司

投入日期：2003年5月

管理人员：王占红

电 话：0515-88298394 / 88298130

主要配置及技术参数：

1、分辨率：

高真空模式下30KV时，3.5nm；低真空模式下30KV时，3.5nm；

低真空模式下3KV时，15nm；ESEM环境真空模式下30KV时，3.5nm；

2、加速电压：20kV；

3、灯丝：钨灯丝；

4、样品室真空：<6 ×10-4～2600pa（三种模式高真空，低真空，esem环境真空）；

5、真空系统：1个250L/S分子涡轮泵、2个机械泵；

6、探测器：高真空模式E-T二次电子探头、低真空模式LF GSED二次电子探头、环境真空模式GSED二次电子探头、红外CCD相机固体背散射电子探头；

7、样品室：左右长度284mm×10mm分析工作距离；

8、四轴马达台；

9、图象处理：最大3584×3094象素；图像格式：TIFF、BMP或JPEG；

仪器用途：

陶瓷、混凝土、生物、高分子、矿物、纤维等无机或有机固体材料表面的形貌分析；无机或有机固体材料断口分析，研究断裂机理；微型加工件的表征；集成电路图形及断面尺寸、结区缺陷分析；金属镀层厚度及各种固体材料膜层厚度的测定；晶体的生长过程、相变、缺陷研究；无机或有机固体材料的粒度分析；金属材料断口断裂磨损表面形貌、变形层等的观察和机理研究；金属材料的相分析；微区成分分析。本仪器配有X-射线能谱分析仪（美国热电公司，VANTANGE-100型），可同时对不同无机或有机固体材料表面或者断面的物相及微区元素成分进行定性和定量分析。

送样要求：

1、送检样品必须为干燥固体，块状、片状、纤维状、颗粒或粉末状均可；

2、应有一定的化学、物理稳定性，在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形，无磁性、放射性和腐蚀性；

3、对含水份较多的生物软组织样品，要求用户预先进行临界点干燥前的固定、清洗、脱水及用醋酸（异）戊酯置换等处理；

4、一般情况下，样品体积不宜太大（≤5×5×2mm较适合）。