1.测试准备

（1）将试样用导电胶固定在样品台上，样品大小不应超过样品台，用洗耳球吹去样品表面多余的粉末或杂物，再用镀膜仪给样品表面镀一层金膜或碳膜（导电性好的样品不需要镀膜），使其具有良好的导电性；

（2）对于需要做能谱的样品，测试前需检查仪器加注的液氮量是否充足，若不够，应立即补足液氮，加完液氮后需等待机器稳定2h后方可进行测试。

2.样品测试程序

以使用固体样品进行测试为例。

（1）开机。打开测试软件及CCD窗口，将样品托固定在样品支承架上，启动Homestage功能（按Shift+F3），仪器自动调整样品支承架至初始位置。操作完成后，关闭样品室门，然后利用鼠标滚轮将样品最高处调节到距离物镜5 mm的标记位置。

（2）点击Pump键，抽真空，当真空度优于10^-3Pa后即可测试。

（3）点击Beam On键使其成为黄色，打开高压，当Beam On键上方绿色进度条走完，Emission current电流达到100 μA左右后，打开视频窗口进行测试。

（4）选择合适加速电压、束流和探测器，聚焦，消像散并在不同放大倍数下拍照。

（5）样品观察结束后，再次点击Beam On键使其成为灰色，按住鼠标滚轮将样品台调整到最下面的位置。

（6）点击Vent键，待卸真空完成后，轻轻打开样品室，取出样品。

（7）测试结束后，关闭操作界面。

3.注意事项

（1）保持样品表面清洁，应使用专用镊子夹取试样，严禁用手直接触摸。

（2）进入实验室须要穿实验服，戴防护手套，防止有毒有害的样品危害身体健康。

（3）在测试过程中要尽量保持安静，防止噪音振动对测试结果的影响。

（4）测试结束后，须先关闭Beam On，再卸除真空。

（5）当液氮量少时，能谱仪不能开机，必须保证液氮充足情况下才能开机测试；

（6）加注液氮时，应做好防护，避免液氮接触到皮肤造成冻伤。