X-射线光电子能谱仪(XPS)

发布时间:2017-05-14作者:佚名文章来源:本站原创 浏览次数:

1、仪器准备:开启仪器电源开关,依次启动机械泵、分子泵、真空泵、钛升华泵,放置好烘烤架和仪器烘烤罩。开启电脑,打开Avantage软件,设置为烘烤状态,烘烤温度为120oC,时间12h,使分析室的真空度达到10–10mBar或更低。

2、样品导入:在Avantage程序中点击Sample-Vent Entry Lock,将待测样品台送入进样室,抽真空;待真空度达到10–7mBar或更低后打开Open Gate Valve V2,将样品台送至制备室;打开Open Gate Valve V1,将样品台从制备室传送到分析室;

3、编设测试程序树:(1)建立新实验:在Avantage程序中,依次点击File和New Experiment;(2)开启中和枪:点击Charge Compensation和Wait Object,设置Charge Compensation为Staticelectric模式(非磁性样品),将Wait Object设置为20 s;(3)开启X射线枪:点击X-Ray,一般选Mono 500 μm;(4)设置扫描点:点击Point;(5)设置窄谱,设定扫描步长与次数;(6)关枪:添加关闭枪Gun off;

4、测试:找到样品上要测试的点,调整焦距,读取测试点;点击START按钮,按编设测试程序树进行测试。测试结束后,保存数据;

5、样品退出:与样品导入步骤相反,将样品台依次从分析室退到制备室、进样室,最后打开舱门,取出样品台。

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