1、仪器准备：开启仪器电源开关，依次启动机械泵、分子泵、真空泵、钛升华泵，放置好烘烤架和仪器烘烤罩。开启电脑，打开Avantage软件，设置为烘烤状态，烘烤温度为120^oC，时间12h，使分析室的真空度达到10^–10mBar或更低。

2、样品导入：在Avantage程序中点击Sample-Vent Entry Lock，将待测样品台送入进样室，抽真空；待真空度达到10^–7mBar或更低后打开Open Gate Valve V2，将样品台送至制备室；打开Open Gate Valve V1，将样品台从制备室传送到分析室；

3、编设测试程序树：（1）建立新实验：在Avantage程序中，依次点击File和New Experiment；（2）开启中和枪：点击Charge Compensation和Wait Object，设置Charge Compensation为Staticelectric模式（非磁性样品），将Wait Object设置为20 s；（3）开启X射线枪：点击X-Ray，一般选Mono 500 μm；（4）设置扫描点：点击Point；（5）设置窄谱，设定扫描步长与次数；（6）关枪：添加关闭枪Gun off；

4、测试：找到样品上要测试的点，调整焦距，读取测试点；点击START按钮，按编设测试程序树进行测试。测试结束后，保存数据；

5、样品退出：与样品导入步骤相反，将样品台依次从分析室退到制备室、进样室，最后打开舱门，取出样品台。