1.升压：确认真空及循环水状态正常；确认HT Status显示为Ready，HT为160 kV；点击Normal，高压将从160 kV升至200 kV。

2.插入样品杆：插入样品杆预抽，确认PiG4的Value值达到“Ready”状态，并且离子泵SIP3的真空值低于4 × 10^–5Pa之后，插入样品杆。

3.冷阱注入液氮：在冷阱中注入液氮。

4.待镜筒真空稳定在2 × 10^–5Pa以下，点击Beam按钮，打开V1阀门。

5.插入1#聚光镜光阑，校正聚光镜光阑位置。

6.样品共心高度调整：使用Image Wobbler或菲涅耳条纹判断样品欠焦/聚焦状态，并使用操作面板的Z高度调节按钮调节样品高度。

7.常规合轴：点击操作面板上的“STD Focus”按钮，并进行常规三步合轴（1~5合轴、高压中心与聚光镜像散）。

8.调整物镜像散：设置电镜条件为Spot1、α3，400k放大倍数，使用Live FFT功能调整物镜像散。

9. MAG与DIFF模式数据获取：选择需要的模式、光照条件与放大倍数并获得数据。

10.更换样品：确认能谱探头/STEM探头退出，相机关闭，所有光阑全部退出（可保留1#聚光镜光阑），并切换至MAG模式，10 K左右；点击Beam按钮，关闭V1阀；双击TEM Control右侧的Stage Neutral使样品杆复位；按照样品杆的操作程序拔出样品杆。

11.结束工作：确认样品杆拔出；在High Voltage Control窗口的FEG Stand by Mode模块中点击Stand by，高压将从200 kV降至160 kV；如果冷阱中加注过液氮，将加热棒放入冷阱，Maintenance菜单下启动ACD & Bake，在弹出的Beak Out/ACD Heat窗口的ACD Heat选项卡中点击On。