1.开机，打开测试软件及CCD窗口；

2.将样品固定在样品室，按Homestage，让机器自动定位调整样品台位置，调整好后，关上样品室门，然后利用鼠标将样品台的位置调整到距离镜头10 mm的位置；

3.按pump按钮，抽真空，当真空度≥10^-3Pa后即可测试；

4.点HV，打开高压，当Emission current电流稳定到100 μA左右时，打开视频窗口进行测试；

4.放大，调焦距，在不同放大倍数下拍照；

5.测量结束后，关闭高压HV，按住鼠标滚轮将样品台调整到最下面的位置；

6.等待仪器冷却10分钟后，取出样品；

7.测试结束后，关闭仪器电源。