超高分辨率场发射扫描电子显微镜

发布时间:2017-05-15作者:佚名文章来源:本站原创 浏览次数:

一、场发射扫描电镜

仪器型号:Nova NanoSEM 450(扫描电子显微镜)、AZtec X-MaxN80(能谱仪)

生产厂家:美国FEI公司(扫描电子显微镜)、英国牛津公司(能谱仪)

投入日期:2016年12月

管理人员:王占红

电 话:0515-88298394 / 88298130

主要配置及技术参数:

1.分辨率:

(1)二次电子像

高真空模式:15 kV时优于1.0 nm;

1 kV时优于1.4 nm(不采用减速模式情况下);

低真空模式:10 kV时优于1.5 nm;

3 kV时优于1.8 nm;

(2)背散射电子像:100 V时优于3.5 nm。

2.放大倍率范围:35~900000倍;

3.着陆电压:50 V~30 kV;

4.电子枪:Schottky肖特基场发射电子枪;

5.电子束流:0.6 pA~200 nA,连续可调;

6.探测器:普通二次电子检测器、极靴内二次电子探测器、背散射电子探测器;7.样品台:五轴马达驱动,移动范围:X≥ 110mm,Y≥ 110mm,Z≥ 25mm;

8.样品室左右内径大于379mm,分析工作距离5mm;

9.样品室IR-CCD相机。

二、能谱仪

仪器型号:AZtec X-MaxN80型

生产厂家:英国牛津公司

投入日期:2016年12月

主要配置及技术参数:

1.分辨率:优于127 eV (MnKα);

2.电制冷;

3.分析元素范围:Be4~ Cf98

4.采集方式:点(point)、线(line)、面(mapping);

5.点采样时间:>60s;

6. X-MaxN80大面积分析性SDD硅漂移探测器。

仪器用途:

主要用于纳米材料的超高分辨微观形貌观察和微区分析,可测试各种纳米颗粒和粉末、纳米管以纳米线、塑料电子器件、玻璃基体材料、有机材料、金刚石薄膜、断口分析等,还可同时对不同无机或有机固体材料表面或断面的物相及微区元素成分进行定性和定量分析,可实现点、线、面不同模式的分析。

送样要求:

1、送检样品必须为充分干燥的块状、片状、纤维状、颗粒或粉末状等固体;

2、须具有一定的化学、物理稳定性,在真空中及电子束轰击下不会挥发或变形,无磁性、放射性和腐蚀性;对于韧性好的试样,必要时需脆断。

3、对含水份较多的生物软组织样品,须预先进行临界点干燥前的固定、清洗、脱水及用醋酸(异)戊酯置换等处理;

4、样品的体积宜小于5×5×2 mm。

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